T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
标准名称:集成电路用ArF浸没式光刻胶
发布日期:2020-12-31
实施日期:2021-03-01
标准编号:T/ICMTIA 5.2-2020
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:T/ICMTIA 5.2-2020
规范名称:集成电路用ArF浸没式光刻胶
本文件适用于集成电路用ArF浸没式光刻胶。
起草单位:宁波南大光电材料有限公司