T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
标准名称：集成电路用过氧化氢
发布日期：2019-04-17
实施日期：2019-10-10
标准编号：T/ICMTIA 2-2019
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢
标准编号：T/ICMTIA 2-2019
规范名称：集成电路用过氧化氢
本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
起草单位：苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。
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