T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
标准名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
发布日期：2019-04-17
实施日期：2019-10-10
标准编号：T/ICMTIA 1-2019
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
标准编号：T/ICMTIA 1-2019
规范名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。
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