JJG 508-2004 四探针电阻率测试仪检定规程
标准名称:四探针电阻率测试仪检定规程
发布日期:2004-09-21
实施日期:2005-03-01
标准编号:JJG 508-2004
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:JJG 508-2004
规范名称:四探针电阻率测试仪检定规程
本规程适用于接触式,测量范围在10-3Ω.cm ~ 103Ω.cm的四探针电阻率测试仪的首次检定,后续检定和使用中检验。对某些多功能的四探针电阻率测试仪或只能测量方块电阻四探针测试仪也同样适用。方块电阻的测量范围在10-2Ω/ ~ 104Ω/。
本规程不适用于二探针、三探针、六探针及方型四探针电阻率测试仪的检定。
起草单位:中国计量科学研究院、广州半导体材料研究所