JJG 48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程

标准名称：硅单晶电阻率标准样片检定规程发布日期：2004-09-21 实施日期：2005-03-21 标准编号：JJG 48-2004 标准状态：现行(*非即时更新以实际为准) 标准格式：PDF电子版

简介

标准编号：JJG 48-2004

规范名称：硅单晶电阻率标准样片检定规程

本规程适用于硅单晶阻率标准样片的首次检定、后续检定和使用中的检验。

硅单晶电阻率标准样片（以下简称标准样片）是用高纯多晶硅，经过单晶制备，再经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的，具有一定几何尺寸的实物标准。由不确定度已知的标准装置，对该实物标准的电阻率及其它指标给予标定，使用时以标准样片为准，对相关参数进行量值传递。

起草单位：中国计量科学研究院、广州半导体材料研究所

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