JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范
标准名称：平面等厚干涉仪校准规范
发布日期：2016-11-30
实施日期：2017-05-30
标准编号：JJF 1100-2016
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范
标准编号：JJF 1100-2016
规范名称：平面等厚干涉仪校准规范
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。
平面等厚干涉仪（以下简称仪器）是采用等厚光波干涉原理，用于物体表面平面度测量（或检测）的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。
起草单位：中国测试技术研究院、中国计量科学研究院、中国科学院光电技术研究所、中测测试科技有限公司
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。