JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范
标准名称:平面等厚干涉仪校准规范
发布日期:2003-05-12
实施日期:2003-11-12
标准编号:JJF 1100-2003
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:JJF 1100-2003
规范名称:平面等厚干涉仪校准规范
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。
起草单位:中国测试技术研究院