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JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

简介

JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

标准编号:JJF 1351-2012

规范名称:扫描探针显微镜校准规范

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。

扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。

起草单位:中国航空工业集团公司北京长城计量测试研究所、中国计量科学研究院、贵州计量测试院、上海计量测试技术研究院

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