GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法
标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法
发布日期：2012-12-31
实施日期：2013-06-01
标准编号：GB/T 29190-2012
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法
标准编号：GB/T 29190-2012
规范名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院
批准发布部门：中国科学院
GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法(图)
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