GB/T 14264-1993 半导体材料术语
标准名称：半导体材料术语
发布日期：1993-03-20
实施日期：1993-12-01
标准编号：GB/T 14264-1993
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
标准编号：GB/T 14264-1993
规范名称：半导体材料术语
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国有色金属总公司标准所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14264-1993 半导体材料术语(图)
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