SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
标准名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
标准编号：SJ/T 31083-2016
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
标准编号：SJ/T 31083-2016
规范名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
适用范围：
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。
中国电子技术标准化研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
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