GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
发布日期：2011-11-21
实施日期：2012-03-01
标准编号：GB/T 11164-2011
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
标准编号：GB/T 11164-2011
规范名称：真空镀膜设备通用技术条件
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、兰州真空设备有限责任公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等、上海曙光机械制造厂有限公司、成都南光机器有限公司
批准发布部门：中国机械工业联合会
GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件(图)
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