YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 1060-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
标准编号：YS/T 1060-2015
规范名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
适用范围：
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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