YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 15-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
标准编号：YS/T 15-2015
规范名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
适用范围：
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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