YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
标准名称：电子薄膜用高纯钴靶材
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 1053-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
标准编号：YS/T 1053-2015
规范名称：电子薄膜用高纯钴靶材
适用范围：
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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