YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
标准名称：化学气相沉积炉
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 1031-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
标准编号：YS/T 1031-2015
规范名称：化学气相沉积炉
适用范围：
本标准适用于化学气相沉积。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。