JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准名称:等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
发布日期:2014-10-14
实施日期:2015-04-01
标准编号:JC/T 2243-2014
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:JC/T 2243-2014
规范名称:等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
适用范围:
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位:上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无