GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

标准号：GB/T 40566-2021

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草单位：无锡市产品质量监督检验院、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、乐山市产品质量监督检验所、中节能太阳能科技（镇江）有限公司、常州大学、上海材料研究所、上海赛夫特半导体材料有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、无锡市分析测试学会、无锡市计量测试院、洛阳中硅高科技有限公司、集萃新材料研发有限公司、福建省计量科学研究院、苏州博飞克分析技术服务有限公司

起草人：何莉、杨君、丁彬斌、鲍军、王旭辉、王彬、楚东旭、邱艳梅、王桃霞、薛小强、何永强、王美娟、蒋威、刘晓霞、鲁文锋、王赶强、梁洪、马昀锋、黄国平、罗海燕、马冲先

国家标准《流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法(图)