GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片
标准名称：水平法砷化镓单晶及切割片
发布日期：2020-09-29
实施日期：2021-08-01
标准编号：GB/T 11094-2020
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片
标准号：GB/T 11094-2020
全部代替标准：GB/T 11094-2007
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研光电新材料有限责任公司、广东先导先进材料股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、
起草人：于洪国、林泉、李素青、马远飞、权盼、朱刘、杨丽霞、付萍、马英俊、赵敬平、李万朋、许所成、周铁军、闫方亮
国家标准《水平法砷化镓单晶及切割片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片(图)
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