JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
标准名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
发布日期：2004-03-12
实施日期：2004-08-01
标准编号：JB/T 10439-2004
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
标准编号：JB/T 10439-2004
规范名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
适用范围：
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
全国工业电热设备标准化技术委员会
起草单位：西安理工大学晶体生长设备研究所
批准发布部门：国家发展和改革委员会行业分类无
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