GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
发布日期：1984-03-28
实施日期：1985-03-01
标准编号：GB/T 4298-1984
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
标准编号：GB/T 4298-1984
规范名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
中国有色金属工业协会
起草单位：有色金属研究总院
批准发布部门：中国有色金属工业协会
GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法(图)
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