SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语
标准名称：微电子学光掩蔽技术术语
发布日期：1994-08-08
实施日期：1994-12-01
标准编号：SJ/T 10584-1994
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语
标准编号：SJ/T 10584-1994
规范名称：微电子学光掩蔽技术术语
适用范围：
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。