GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级
标准名称:洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级
发布日期:2021-08-20
实施日期:2022-03-01
标准编号:GB/T 25915.10-2021
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:GB/T 25915.10-2021
规范名称:洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级
该国家标准定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。
该国家标准适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注1:该国家标准仅考虑徽粒子的化学性质,未考虑微粒子的物理性质.该国家标准不包括污染物与表面之间的相互作用。
注2:该国家标准不涉及污染产生的过程。不涉及与时间有关的影响因素(沉降、沉积、老化等)以及与过程有关的活动(如转移、处理等),也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
起草单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州市计量测试院、苏州宏远净化技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国合格评定国家认可中心、上海风神环境设备工程有限公司、上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、烟台宝源净化有限公司、中国标准化协会、上海市室内环境净化行业协会、无锡汉佳医疗科技有限公司、茂盟(上海)工程技术股份有限公司
批准发布部门:国家标准化管理委员会
GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级(图)