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GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件

GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件

简介

GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件

标准编号:GB/T 37416-2019

规范名称:洁净机器人通用技术条件

本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。

本标准适用于在洁净室使用的,在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。

全国自动化系统与集成标准化技术委员会

起草单位:沈阳新松机器人自动化股份有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、大连理工大学、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、东北大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司

批准发布部门:中国机械工业联合会

GB/T 37416-2019

GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件(图)

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