GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
标准名称：太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-04-01
标准编号：GB/T 37051-2018
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
标准编号：GB/T 37051-2018
规范名称：太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
本标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法，包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。
本标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：英利集团有限公司、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、晋能清洁能源科技有限公司、天津英利新能源有限公司、中国电子技术标准化研究院、泰州中来光电科技有限公司、镇江仁德新能源科技有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法(图)
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