GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
标准名称：用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-07-01
标准编号：GB/T 35309-2017
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
标准编号：GB/T 35309-2017
规范名称：用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。
本标准适用于尺寸为600m~3000m的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程(图)
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