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GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

简介

GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

标准编号:GB/T 32650-2016

规范名称:电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素

本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素的测定方法。本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、、镁、铬、镍、硼、锰、铜、痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、中国电子技术标准化研究院、江苏太平洋石英股份有限公司

批准发布部门:国家标准化管理委员会

GB/T 32650-2016

GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素(图)

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