GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
标准名称：Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准编号：GB/T 30654-2014
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
标准编号：GB/T 30654-2014
规范名称：Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底（A120、ZnO等）或半导体衬底（GaN、Si、GaAs、SiC等）上外延生长的氮化物（Ga，In，A1）N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院半导体研究所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。