GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
标准名称：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-04-01
标准编号：GB/T 30857-2014
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
标准编号：GB/T 30857-2014
规范名称：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、浙江昀丰新能源科技有限公司、中国科学院上海光机所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法(图)
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