GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
标准编号：GB/T 30868-2014
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
标准编号：GB/T 30868-2014
规范名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法(图)
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