GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法
标准名称:电子级水中微粒的仪器测试方法
发布日期:2013-12-31
实施日期:2014-08-15
标准编号:GB/T 11446.9-2013
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:GB/T 11446.9-2013
规范名称:电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05m,微粒的浓度范围为0~10000个/mL。
工业和信息化部(电子)
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法(图)