GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
标准名称：光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
标准编号：GB/T 29851-2013
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
标准编号：GB/T 29851-2013
规范名称：光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。 本标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析，其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其它受主杂质的测量也可参照本标准。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法(图)
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