GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
标准名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
发布日期：2011-12-30
实施日期：2012-05-01
标准编号：GB/T 27760-2011
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
标准编号：GB/T 27760-2011
规范名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：国家纳米科学中心
批准发布部门：中国科学院
GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。