GB/T 25915.17-2024 洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用
发布日期：2024-08-23
实施日期：2025-03-01
下载格式：PDF电子版
简介
标准编号：GB/T 25915.17-2024
规范名称：洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州苏信环境科技有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、上海尚远建设工程有限公司、中国科学院大气物理研究所、北京戴纳实验科技有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、仲恺农业工程学院、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、朗恒科技集团有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会、中国电子工程设计院股份有限公司、烟台宝源净化有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、上海市室内环境净化行业协会、科锐特（厦门）净化科技有限公司、惠特科学技术有限公司、新拓洋生物工程有限公司
起草人：苗心向、袁晓东、郝胤博、吴志坚、丁禹龙、高怡婷、王芳、贺乐凯、魏兰、山香菊、黄狄文、张建国、奚光明、王天羿、孙扬、惠旅锋、陆晶、奚晓鹏、杨云涛、丁力行、高正、张长安、胡思伟、李华新、危勇华
批发部门：国家标准委
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