T/IAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
标准名称：碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
发布日期：2021-09-15
实施日期：2021-09-22
标准编号：T/IAWBS 014-2021
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/IAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
标准编号：T/IAWBS 014-2021
规范名称：碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
本文件规定了碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法。
本文件适用于晶面偏离{0001}面角度为0°～8°的碳化硅单晶抛光片的位错密度的测试。
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，北京天科合达半导体股份有限公司。
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