T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸
标准名称：电子工业用高纯氢氟酸
发布日期：2020-05-27
实施日期：2020-08-01
标准编号：T/CNIA 0062-2020
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸
标准编号：T/CNIA 0062-2020
规范名称：电子工业用高纯氢氟酸
本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。
本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。
起草单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
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