T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
标准名称:钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
发布日期:2020-04-29
实施日期:2020-06-01
标准编号:T/SICA 001-2020
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:T/SICA 001-2020
规范名称:钛白粉用集成电路制造行业废硫酸
起草单位:上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司