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T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

简介

T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

标准编号:T/CEMIA 006-2018

规范名称:膜厚监控用石英晶振片

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

起草单位:唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司,唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司,江苏省东海硅产业科技创新中心。

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