T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片
标准名称:膜厚监控用石英晶振片
发布日期:2018-12-14
实施日期:2019-03-14
标准编号:T/CEMIA 006-2018
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:T/CEMIA 006-2018
规范名称:膜厚监控用石英晶振片
本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
起草单位:唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司,唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司,江苏省东海硅产业科技创新中心。