T/FSI 003-2016 气相二氧化硅生产用四氯化硅
标准名称:气相二氧化硅生产用四氯化硅
发布日期:2017-04-10
实施日期:2017-06-01
标准编号:T/FSI 003-2016
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:T/FSI 003-2016
规范名称:气相二氧化硅生产用四氯化硅
气相二氧化硅生产用四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于多晶硅副产四氯化硅、三氯氢硅副产四氯化硅以及其它方法制得的四氯化硅,该四氯化硅满足气相二氧化硅生产原料的质量要求。
起草单位:宜昌汇富硅材料有限公司、中蓝晨光成都检测技术有限公司、广州吉必盛科技实业有限公司、浙江富士特硅材料有限公司、新亚强硅化学股份有限公司