GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
标准名称:电子级水中微粒的仪器测试方法
发布日期:1997-09-01
实施日期:1998-09-01
标准编号:GB/T 11446.9-1997
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:GB/T 11446.9-1997
规范名称:电子级水中微粒的仪器测试方法
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径大于或等于0.5μm,微粒的浓度为(0~10 000)个/mL.
工业和信息化部(电子)
起草单位:中国科学院半导体研究所
批准发布部门:工业和信息化部(电子)
GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法(图)