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GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法

简介

GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法

标准编号:GB/T 1550-1997

规范名称:非本征半导体材料导电类型测试方法

本标准规定了非本征半导体材料导电类型的测试方法。本标准方法能保证对均匀的同一导电类型的材料测得的可靠结果,对于非均匀试样,可在其表面上测出不同导电类型区域。本标准方法不适用于分层结构试样,如外延片的导电类型的测定。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:峨嵋半导体材料厂

批准发布部门:国家标准化管理委员会

GB/T 1550-1997

GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法(图)

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