JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚
标准名称:单晶硅生长用石英坩埚
发布日期:2018-10-22
实施日期:2019-04-01
标准编号:JC/T 1048-2018
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:JC/T 1048-2018
规范名称:单晶硅生长用石英坩埚
适用范围:
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚(以下简称石英坩埚)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无