YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
标准名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
发布日期：2018-10-22
实施日期：2019-04-01
标准编号：YS/T 1290-2018
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
标准编号：YS/T 1290-2018
规范名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
适用范围：
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%-10.00%。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。