SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
标准名称：电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
发布日期：2016-10-22
实施日期：2017-01-01
标准编号：SJ/T 11637-2016
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
标准编号：SJ/T 11637-2016
规范名称：电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
适用范围：
本标准规定了用电感耦合等离子体质谱法测定电子化学品中金属离子的测定方法。
本标准适用于电子化学品中多种金属元素的测定。
本标准适用于痕量测定，推荐直接进样检测的浓度小于1000g/kg。本标准不适用于固体直接进样。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
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