YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法
标准名称:磁性溅射靶材透磁率测试方法
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
标准编号:YS/T 1124-2016
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:YS/T 1124-2016
规范名称:磁性溅射靶材透磁率测试方法
适用范围:
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无