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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

简介

YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

标准编号:YS/T 1124-2016

规范名称:磁性溅射靶材透磁率测试方法

适用范围:

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

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