YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
标准名称：制备钌靶用钌粉
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 1068-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
标准编号：YS/T 1068-2015
规范名称：制备钌靶用钌粉
适用范围：
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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