YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 14-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
标准编号：YS/T 14-2015
规范名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
适用范围：
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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