SJ/T 11508-2015 集成电路用 正胶显影液
标准名称:集成电路用 正胶显影液
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准编号:SJ/T 11508-2015
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:SJ/T 11508-2015
规范名称:集成电路用 正胶显影液
适用范围:
本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用正胶显影液,以下简称正胶显影液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无