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SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

简介

SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

标准编号:SJ/T 11516-2015

规范名称:薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

适用范围:

本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

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