SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
标准名称:薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准编号:SJ/T 11516-2015
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:SJ/T 11516-2015
规范名称:薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
适用范围:
本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无