YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定

标准名称：氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定发布日期：2014-10-14 实施日期：2015-04-01 标准编号：YS/T 987-2014 标准状态：现行(*非即时更新以实际为准) 标准格式：PDF电子版

简介

标准编号：YS/T 987-2014

规范名称：氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定

适用范围：

本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%～1.00%。

全国有色金属标准化技术委员会

起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司等

批准发布部门：工业和信息化部行业分类无

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